機械行業常用的精確測量工具，大體分為分直線游標類和螺旋筒測微類，直線游標類精度常為0.02毫米，比如卡尺，深度尺，高度尺等，而螺旋測微類的就是通常所說的千分尺，但這個是個不嚴肅的叫法，因為螺旋筒一圈的刻度是50個格，用這個刻度去等分0.5毫米，精度應該是0.01毫米，比如內徑千分尺，外徑千分尺，內徑千分棍，三爪卡規等。
量具的發展是和機械的發展相輔相成的，目前更精確的量具都使用了電子顯示系統，就是說，量具都應用了磁柵等先進技術來顯示數據而消除了人為讀數的誤差。而早先，人們想到的是百分表，把表裝在量具上，讓表隨著副尺位移而顯示指針數據。
加工行業，還有一個不得不提，即內徑百分表，在深孔的測量中還是沒有什么東西可代替它的，比如千分棍，通常在100毫米下的深孔就摒棄不用了，三爪規的深度量程也有一個限度，而內徑百分表的量程卻可以達到表桿的長度。但它一個弱點就是不能直接讀數，需要先用外徑千分尺校驗零點。